CVD-coatingoven voor siliconcarbide voor grafietgevoeligheid of etseringsring

CVD-coatingoven voor siliconcarbide voor grafietgevoeligheid of etseringsring

Deze apparatuur wordt gebruikt voor de afzetting van siliciumcarbide op het oppervlak van materiaal op basis van koolstof/keramiek, met name voor een halfgeleidergevoeliger en een etseringsring.

Grafietgevoeliger, een hoogzuivere grafietplaat met een cirkelvormige groef om het wafersubstraat te bevestigen.een laag kristallen film groeit op het oppervlak van het substraat, wat de epitaxiale laag is.

Waferprocessen zoals lithografie en ionenimplantatie worden allemaal uitgevoerd op de epitaxiale laag.De epitaxiale basis van grafiet kan duidelijk niet voldoen aan de zeer hoge zuiverheidsvereisten in het halfgeleiderproces..

Om deze reden moeten we chemische dampafzetting op de basis gebruiken om een laag dichte siliciumcarbide film te wikkelen.

• Ontwerpstandaarden

De apparatuur is ontworpen volgens de eisen van het Bureau voor kwaliteits- en technisch toezicht voor drukvaten en is na drukonderzoek gekwalificeerd en verzonden.Het elektrische ontwerp en de bouw voldoen aan de nationale normen.

• Pre-installatie-test en pre-aanneming

De apparatuur is volledig in onze fabriek geassembleerd, inclusief alle leidingen, vacuümleidingen, procesgasleidingen, koelwaterleidingen, persluchtleidingen, enz.Vooronderzoek kan na de installatie worden uitgevoerdDe installatie omvat ook de aansluiting van alle kabels.de hoofdkabel voor de aansluiting van de power cabinet wordt door de klant geleverd;Na de installatie voeren wij vacuüm- en druklekketests uit op de gehele apparatuur, evenals mechanische en elektrische functietests.

• Ontmanteling en vervoer

De apparatuur wordt in verschillende grote onderdelen ontmanteld, op een gestandaardiseerde manier verpakt en in het transportvoertuig geladen.

• Installatie en inbedrijfstelling op de klantlocatie

De Redel after-sales ingenieur zal het team leiden om de inbedrijfstelling, productproef verbranding en ander werk binnen 20 werkdagen te voltooien.De klant moet de nodige voorbereidingen treffen en de nodige hulpmiddelen ter beschikking stellen.Het is aanbevolen om 1 mechanisch personeel en 1 elektrisch personeel te hebben.

• Eindelijke aanvaarding

Na installatie en inbedrijfstelling kan de apparatuur definitief worden aanvaard overeenkomstig de eisen van het technisch contract.

• Opleiding

Onze after-sales ingenieurs zullen systematische en volledige training ter plaatse verlenen, inclusief bediening, onderhoud, probleemoplossing, enz.

• Verstrekking van technische gegevens

Om de veilige werking en het onderhoud van de apparatuur te waarborgen, worden de volgende technische gegevens aan klanten verstrekt:

1. Installatie van apparatuur

2. Gebruikershandleiding

3. Lijst met onderdelen

4Elektrische tekeningen

5. Component handleiding