China CVD Oven Manufactures, Silicon Carbide Coating Machine

China CVD-ovenfabrikanten van siliconcarbidecoating

Deze apparatuur wordt gebruikt voor het bekleden van koolstof/keramische materialen met siliciumcarbide,met name afzetting van siliciumcarbide op het oppervlak van de halfgeleider, de epitaxiale gevoeligheid en de etseringsring.

CVD-ovens die worden gebruikt voor het chemische stofafzettingsproces (CVD).Chemische dampafzetting is een proces waarbij een dunne film wordt afgezet op een substraat met behulp van een chemische reactie tussen verdampte voorlopersgassen en een verwarmd oppervlak.

Epitaxiale basis, een hoogzuivere grafiet schijf, met een cirkelvormige groef om het wafer substraat vast te zetten.Na plaatsing in de oven groeit er een laag kristallen film op het oppervlak van het substraat, de epitaxiale laag.Waferprocessen zoals lithografie en ionenimplantatie worden allemaal uitgevoerd op de epitaxiale laag.

De epitaxiale basis van grafiet kan duidelijk niet voldoen aan de zeer hoge zuiverheidsvereisten in het halfgeleiderproces.Om deze reden moeten we chemische dampafzetting op de basis gebruiken om een laag dichte siliciumcarbidefilm te wikkelen.

• Ontwerpstandaarden

De apparatuur is ontworpen overeenkomstig de eisen van het Bureau voor kwaliteits- en technisch toezicht voor drukvaten en is na drukonderzoek gekwalificeerd en verzonden.Het elektrische ontwerp en de bouw voldoen aan de nationale normen.

• Pre-installatie-test en pre-aanneming

De apparatuur is volledig in onze fabriek geassembleerd, inclusief alle leidingen, vacuümleidingen, procesgasleidingen, koelwaterleidingen, persluchtleidingen, enz.Vooronderzoek kan na de installatie worden uitgevoerdDe installatie omvat ook de aansluiting van alle kabels.de hoofdkabel voor de aansluiting van de power cabinet wordt door de klant geleverd;Na de installatie voeren wij vacuüm- en druklekketests uit op de gehele apparatuur, evenals mechanische en elektrische functietests.

• Ontmanteling en vervoer

De apparatuur wordt in verschillende grote onderdelen ontmanteld, op een gestandaardiseerde wijze verpakt en in het transportvoertuig geladen.

• Installatie en inbedrijfstelling op de klantlocatie

De Redel after-sales ingenieur zal het team leiden om de inbedrijfstelling, productproef verbranding en ander werk binnen 20 werkdagen te voltooien.De klant moet de nodige voorbereidingen treffen en de nodige hulpmiddelen ter beschikking stellen.Het is aanbevolen om 1 mechanisch personeel en 1 elektrisch personeel te hebben.

• Eindelijke aanvaarding

Na installatie en inbedrijfstelling kan de apparatuur definitief worden aanvaard overeenkomstig de eisen van het technisch contract.

• Opleiding

Onze after-sales ingenieurs zullen een systematische en volledige training ter plaatse verzorgen, met inbegrip van de werking, het onderhoud, het oplossen van problemen, enz.

• Verstrekking van technische gegevens

Om de veilige werking en het onderhoud van de apparatuur te waarborgen, worden de volgende technische gegevens aan de klant verstrekt:

1. Installatie van apparatuur

2. Gebruikershandleiding

3. Lijst met onderdelen

4Elektrische tekeningen

5. Component handleiding

Veelgestelde vragen

Bent u een fabriek of handelsonderneming?

V: Bent u een fabriek of handelsonderneming?

A: Wij zijn de toonaangevende fabrikant van vacuümovens voor hoge temperaturen in China met meer dan 10 jaar ervaring.

Heb je een maatwerk of OEM-service?

Q: Heeft u aanpassing of OEM-service?

A:Ja,we hebben een krachtig R&D team en hightech apparatuur. Dus we kunnen niet alleen het reguliere model leveren,maar ook de aanpasbare oven als de repuirment van onze klanten.

Wat is jouw voordeel?

V: Wat is uw voordeel?

A:

Een snelle reactie op uw vraag.

L Hoge kwaliteitscontrole

L Stabiele toeleveringsketen

L tijdige levering

Uitstekende dienstverlening.