HTCVD Silicon Carbide ((CVD SIC) epitaxy-groeioven

Deze apparatuur wordt gebruikt voor het bekleden van koolstof/keramische materialen met siliciumcarbide,met name afzetting van siliciumcarbide op het oppervlak van de halfgeleider, de epitaxiale gevoeligheid en de etseringsring.

De coatingrate is een zeer belangrijke indicator voor downstreamklanten, die rechtstreeks verband houdt met de productiecapaciteit van de apparatuur.Onze apparatuur kan een afzetting van 50 micron per uur bereiken., en kan ook worden uitgerust met snelle koeling, waardoor de productietijd sterk wordt verkort.

Technische kenmerken

1. Met behulp van meerdere temperatuurcontrolezones, grote temperatuuruniformiteit;

2. Speciaal ontworpen afzettingskamer met een goed afdichtingseffect en een goede anti-verontreinigingsprestatie;

3. Het gebruik van meerdere afzetting kanalen met eenvormige gasstroom, zonder afzetting doodhoek en perfect afzetting oppervlak;

4Het heeft een behandeling voor de teer, vast stof en organische gassen tijdens het afzettingsproces

• Ontwerpstandaarden

De apparatuur is ontworpen overeenkomstig de eisen van het Bureau voor kwaliteits- en technisch toezicht voor drukvaten en is na drukonderzoek gekwalificeerd en verzonden.Het elektrische ontwerp en de bouw voldoen aan de nationale normen.

• Pre-installatie-test en pre-aanneming

De apparatuur is volledig in onze fabriek geassembleerd, inclusief alle leidingen, vacuümleidingen, procesgasleidingen, koelwaterleidingen, persluchtleidingen, enz.Vooronderzoek kan na de installatie worden uitgevoerdDe installatie omvat ook de aansluiting van alle kabels.de hoofdkabel voor de aansluiting van de power cabinet wordt door de klant geleverd;Na de installatie voeren wij vacuüm- en druklekketests uit op de gehele apparatuur, evenals mechanische en elektrische functietests.

• Ontmanteling en vervoer

De apparatuur wordt in verschillende grote onderdelen ontmanteld, op een gestandaardiseerde wijze verpakt en in het transportvoertuig geladen.

• Installatie en inbedrijfstelling op de klantlocatie

De Redel after-sales ingenieur zal het team leiden om de inbedrijfstelling, productproef verbranding en ander werk binnen 20 werkdagen te voltooien.De klant moet de nodige voorbereidingen treffen en de nodige hulpmiddelen ter beschikking stellen.Het is aanbevolen om 1 mechanisch personeel en 1 elektrisch personeel te hebben.

• Eindelijke aanvaarding
Na installatie en inbedrijfstelling kan de apparatuur definitief worden aanvaard overeenkomstig de eisen van het technisch contract.

• Opleiding
Onze after-sales ingenieurs zullen een systematische en volledige training ter plaatse verzorgen, met inbegrip van de werking, het onderhoud, het oplossen van problemen, enz.

• Verstrekking van technische gegevens

Om de veilige werking en het onderhoud van de apparatuur te waarborgen, worden de volgende technische gegevens aan de klant verstrekt:

1. Installatie van apparatuur
2. Gebruikershandleiding
3. Lijst met onderdelen
4Elektrische tekeningen
5. Component handleiding

Veelgestelde vragen

Bent u een fabriek of handelsonderneming?

V: Bent u een fabriek of handelsonderneming?
A: Wij zijn de toonaangevende fabrikant van vacuümovens voor hoge temperaturen in China met meer dan 10 jaar ervaring.

Heb je een maatwerk of OEM-service?

Q: Heeft u aanpassing of OEM-service?
A:Ja,we hebben een krachtig R&D team en hightech apparatuur. Dus we kunnen niet alleen het reguliere model leveren,maar ook de aanpasbare oven als de repuirment van onze klanten.

Wat is jouw voordeel?

V: Wat is uw voordeel?
A:

Een snelle reactie op uw vraag.

L Hoge kwaliteitscontrole

L Stabiele toeleveringsketen

L tijdige levering

Uitstekende dienstverlening.