Workingspace: 12-1000L
Max.werkdruk Max.werkdruk ((MPA): 1、2、6、10、20
Max.Werktemperatuur: 1300°C
Werktemperatuur: 1200℃
Verpakking Details: houten behuizingen
Levertijd: 5-6 maanden
Verwarmingszone: kies/dubbel/multi uit
Temperatuurmeting: W-Re 5/26 Thermocouple+infrarood pyrometer
Grootte: Op maat
Inlaatgas: N2,Ar,H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
Max.werktemperatuur ((°C): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
Max. Werktemperatuur.: 1800℃
Max.working druk: 90,8 bar
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Koelingstijd: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((Veilige oven,koeling door sinteren Temperatuur 1450-100°C) Watertemperatuur ≤26°C,
Grootte: Op maat
Verpakkingssubstraten: Metalen, keramische, glazen, enz.
Coatingadhesie: Sterk
Voorlopers en procesgassen: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
Grootte van de coatingapparatuur: Aanpasbaar
Beschermingsmethode: Chemische dampafzetting (CVD)
Totaal vermogen: Ongeveer 40/50/60/80 kW
Totaal vermogen: Ongeveer 40/50/60/80 kW
Verpakkingssubstraten: Metalen, keramische, glazen, enz.
Koelingstijd: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((Veilige oven,koeling door sinteren Temperatuur 1450-100°C) Watertemperatuur ≤26°C,
Maximale temperatuur: 2000℃
Voorlopers en procesgassen: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
Verpakkingssubstraten: Metalen, keramische, glazen, enz.
Stuur uw vraag rechtstreeks naar ons